本文標題:顯微鏡中電子顯微鏡的真空系統(tǒng)
信息分類:站內(nèi)新聞 新聞來源：未知 發(fā)布時間：2014-4-17 10:50:03
顯微鏡中電子顯微鏡的真空系統(tǒng)
電子顯微鏡的真空系統(tǒng)包括機械真空泵、擴散泵和真空閥門三部
分，并通過抽氣管道與鏡筒相聯(lián)接。
電源柜由高壓發(fā)生器、勵磁電流穩(wěn)流器和各種調(diào)節(jié)控制單元組成。
電子透鏡是電子顯微鏡鏡筒中的關(guān)鍵部件。
現(xiàn)代電子顯微鏡大多采用電磁透鏡，由穩(wěn)定的直流勵磁電流通過帶
極靴的線圈產(chǎn)生的強磁場使電子聚焦。
電子槍的作用是發(fā)射并形成速度均勻的電子束，由陰極、柵極和陽
極構(gòu)成。
陰極管發(fā)射的電子通過柵極上的小孔形成射線束，經(jīng)陽極電壓加速
后射向聚光鏡，起到對電子束加速、加壓的作用。
使用中加速電壓的穩(wěn)定度要求不低于萬分之一。 電子顯微鏡按結(jié)
構(gòu)和用途可分為透射式電子顯微鏡、掃描式電子顯微鏡、反射式電
子顯微鏡和發(fā)射式電子顯微鏡等。
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