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本文標(biāo)題:掃描電子顯微鏡匯聚透鏡成像系統(tǒng)

信息分類(lèi):站內(nèi)新聞　新聞來(lái)源：未知發(fā)布時(shí)間：2014-4-7 12:43:42

掃描電子顯微鏡匯聚透鏡成像系統(tǒng)

電磁透鏡熱發(fā)射電子需要電磁透鏡來(lái)成束，所以電磁透鏡必不可少。

通常會(huì)裝配兩組匯聚透鏡和成像系統(tǒng)。

匯聚透鏡用匯聚電子束，裝配在真空柱中，位于電子槍之下。通常有

一組匯聚光圈與之相配。但匯聚透鏡匯聚電子束，與成像會(huì)焦無(wú)關(guān)。

物鏡為真空柱中最下方的一個(gè)電磁透鏡，它負(fù)責(zé)將電子束的焦點(diǎn)匯聚

到樣品外部。

成像系統(tǒng)電子經(jīng)過(guò)一系列電磁透鏡成束后，打到樣品上與樣品相互作

用，會(huì)產(chǎn)生次級(jí)電子、背散射電子、歐革電子以及一系列信號(hào)。

所以需要不同的探測(cè)器譬如次級(jí)電子探測(cè)器、X射線(xiàn)能譜分析儀等來(lái)

區(qū)分這些信號(hào)以獲得所需要的信息。

雖然射線(xiàn)信號(hào)不能用于成像，但仍然將射線(xiàn)分析系統(tǒng)劃分到成像系統(tǒng)

中�？呻娮犹綔y(cè)器代替，但需一個(gè)偏壓電場(chǎng)以篩除次級(jí)電子。

光學(xué)顯微鏡成像原理比較的工作原理是用一束極細(xì)的電子束掃描樣品

，在樣品表面激發(fā)出次級(jí)電子，次級(jí)電子的多少與電子束入射角有關(guān)

與樣品結(jié)構(gòu)有關(guān)。