本文標(biāo)題:電子顯微鏡與掃描式電子顯微鏡
信息分類:站內(nèi)新聞 新聞來源：未知 發(fā)布時(shí)間：2014-3-29 18:24:19
電子顯微鏡與掃描式電子顯微鏡
現(xiàn)代電子顯微鏡大多采用電磁透鏡，由很穩(wěn)定的直流勵(lì)磁電流通過
帶極靴的線圈產(chǎn)生的強(qiáng)磁場使電子聚焦。電子源是一個(gè)釋放自由電
子的陰極，柵極，一個(gè)環(huán)狀加速電子的陽極構(gòu)成的。陰極和陽極之
間的電壓差必須非常高，一般在數(shù)千伏到3百萬伏特之間。
它能發(fā)射并形成速度均勻的電子束，所以加速電壓的穩(wěn)定度要求不
低于萬分之一。樣品可以穩(wěn)定地放在樣品架上。此外往往還有可以
用來改變樣品移動(dòng)、轉(zhuǎn)動(dòng)、加熱、降溫。
電子顯微鏡的裝置探測器用來收集電子的信號(hào)或次級信號(hào)。真空裝
置用以保障顯微鏡內(nèi)的真空狀態(tài)，這樣電子在其路徑上不會(huì)被吸收
或偏向，由機(jī)械真空泵、擴(kuò)散泵和真空閥門等構(gòu)成，并通過抽氣管
道與鏡筒相聯(lián)接。
電源柜由高壓發(fā)生器、勵(lì)磁電流穩(wěn)流器和各種調(diào)節(jié)控制單元組成。
電子顯微鏡按結(jié)構(gòu)和用途可分為透射式電子顯微鏡、掃描式電子顯
微鏡、反射式電子顯微鏡和發(fā)射式電子顯微鏡等。
透射顯微鏡用于觀察不能分辨的細(xì)微物質(zhì)結(jié)構(gòu)；掃描式電子顯微鏡
主要用于觀察固體表面的形貌，也能與射線衍射儀或電子能譜儀相
結(jié)合，構(gòu)成電子微探針，用于物質(zhì)成分分析；發(fā)射式電子顯微鏡用
于自發(fā)射電子表面的研究。
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